株式会社アントンパール・ジャパン

化学機械研磨 / 平面化(CMP): スラリー測定

最終更新日: 2022-09-06 16:26:09.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

CMPプロセスにおけるスラリー特性に対してモニタリングを行うことで、スラリーの正常性を管理し、研磨剤濃度の変化を検出するデータが
化学機械平坦化(CMP)は、マイクロ回路製造における重要な製造ステップです。電子部品が小さいほど、CMPプロセスは高度になります。工程の目標は、 ウェーハを平らで滑らかな研磨されたものにすることです。
研磨作業は、空気中の塵埃が1立方メートルあたり1個以下のクリーンルーム内で行われます。研磨パッドとウェーハの間には、主に純水、化学試薬、さまざまな研磨粒子を含むスラリーが使用されます。スラリーの「正常性」は、その安定性と汚染レベルによって決定されます。異物粒子、溶解二酸化炭素、およびイオン汚染は、研磨プロセス、スラリー粒子の凝集、および凝集体の形成を妨たげることがあります。設定された管理値と組み合わせたスラリー特性の動的測定を使用して、スラリーの正常性を判断できます。

関連情報

インライン屈折率計 L-Rix5100 (Brix計)
インライン屈折率計 L-Rix5100 (Brix計) 製品画像
 リアルタイム濃度測定用のアントンパール社のメンテナンス不要のインライン連続式屈折率計。原材料、工程、最終製品の管理に業界屈指の光学部品を使用することで最大+-0.0001 nD (±0.05Brix)の精度を実現し、CIP/SIPに完全に対応しながら耐久性も高く、メンテナンス不要の運用が保証されます。
Brixモニター L-Rix4100 (Brix計)
Brixモニター L-Rix4100 (Brix計) 製品画像
・リアルタイムBrix測定
・安心のアントンパール製
・安定した測定を実現
・国内外での多くの実績。飲料だけでなく、製糖、化学など多くの分野で活躍。

 測定:0 - 80 Brix
 耐熱:0 - 100 ℃ (CIP/SIP時 最大 145℃、 30 分)
 耐圧:0.1 - 10 bar (絶対圧)
 接続:VARIVENT Type N (バリベント)
 出力:アナログ 4 - 20 mA

 ※より高いグレードの L-Rix5100 、5200型 もございます。こちらは出力や接続方法、測定範囲や対象の選択が可能ですので、併せてご検討ください。
 
小型オンライン密度センサー L-Dens3300
小型オンライン密度センサー L-Dens3300 製品画像
L-Dens 3300
接液材質  選択可能(ホウケイ酸ガラス or SUS316Ti)
密度範囲 500 kg/m? to 2000 kg/m?
密度精度  1 kg/m? (1 x 10-3 g/cm?)
温度    -10 °C to 60 °C(ステンレス仕様は10℃から)
耐圧    max. 6 bar (ステンレス仕様はmax. 16 bar)
環境温度  -10 °C to 40 °C
流量    10 L/h to 70 L/h (ステンレス仕様は 10 L/h to 80 L/h)
湿度    0 ? 95% (結露なし)
保護等級  IP65
重量    1.8 kg
寸法    165 mm x 155 mm x 91 mm (L x W x H)
配管接続  G 1/8“
内径    約2.0mm
電源    SELV/PELV DC 24 V ± 20 % DFL
消費電力  最大 3W
液体密度計 L-Dens 7400 プロセス用
液体密度計 L-Dens 7400 プロセス用 製品画像
【L-Dens 7400の仕様】
密度レンジ  最大 3000kg/m3
温度レンジ  -40 ~ 125℃
SIP温度    145℃ (最大30分)
サンプル   液体、液化ガス、スラリー
耐圧(絶対圧)最大 50bar (HP仕様で 180bar)※接続方法にも依存
密度再現性  0.02 kg/m3(※タンタルの場合:0.05 kg/m3)
温度精度   0.1℃
接液材質   HAS 仕様: ハステロイC-276
       ステンレス仕様: ステンレス1.4404 (SUS316L相当)
センサー内径 6.3mm
環境温度   HMI付: -40 ~ 65 ℃
       HMI無: -40 ~ 70 ℃
湿度     0 ~ 90 %RH (結露なし)
保護等級   IP 66 / NEMA 4X
供給電圧   SELV DC 24 V ± 20%

※この製品は、オンライン液体用振動式密度計・プロセス液体密度計・流体プロセス液体密度アナライザ・プロセス用精密密度センサです。また、真密度が測定できるセンサで、コリオリ式・浮子式・質量流量式ではありません。
比重・濃度モニター L-Dens 7400 プロセス用
比重・濃度モニター L-Dens 7400 プロセス用 製品画像
【L-Dens 7400の仕様】
密度レンジ  最大 3000kg/m3
温度レンジ  -40 ~ 125℃
SIP温度    145℃ (最大30分)
サンプル   液体、液化ガス、スラリー
耐圧(絶対圧)最大 50bar (HP仕様で 180bar)※接続方法にも依存
密度再現性  0.02 kg/m3(※タンタルの場合:0.05 kg/m3)
温度精度   0.1℃
接液材質   HAS 仕様: ハステロイC-276
       ステンレス仕様: ステンレス1.4404 (SUS316L相当)
センサー内径 6.3mm
環境温度   HMI付: -40 ~ 65 ℃
       HMI無: -40 ~ 70 ℃
湿度     0 ~ 90 %RH (結露なし)
保護等級   IP 66 / NEMA 4X
供給電圧   SELV DC 24 V ± 20%

※この製品は、オンライン液体用振動式密度計・プロセス液体密度計・流体プロセス液体密度アナライザ・プロセス用精密密度センサです。また、真密度が測定できるセンサで、コリオリ式・浮子式・質量流量式ではありません。

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