株式会社アントンパール・ジャパン

オンライン密度計 フォトレジスト液

最終更新日: 2024-01-09 14:42:28.0
精度密度計により、フォトリソグラフィー工程におけるフォトレジスト液センサー。ネガ型、ポジ型双方に対応。

 L-Dens 7400/7500 は液体の密度値測定に使用するプロセス測定装置です。
 溶液、混合液の密度は、多くの場合濃度に正比例します。したがって、測定した密度値を濃度の測定に利用することができます。様々なサンプルに対する検量線の立ち上げが可能であり、そのために、耐腐食性の接液材質が選択可能です。
 小型でコンパクトなデザインのため、質量流量測定システムなどに簡単に組み込むことができ、製薬、飲料、エタノール、化学、石油業界で使用されています。また、日本国内の防爆対応をはじめ、様々な規格に適応しており、高い精度と安定性が評価されております。

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基本情報

初期濃度の調整用
溶剤の揮発分を密度測定による、濃度の自動調整

価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
※ 2か月程度
型番・ブランド名 L-Dens7400
用途/実績例 その他の実績例:
IPA (2-プロパノール)、アセトニトリル、アセトン、アンモニア、1-プロパノール、エタノール、エチレングリコール、NMP、N-メチルモルホリンN-オキシド、塩化アンモニウム、塩化カリウム、塩化カルシウム、塩化ナトリウム、塩化マグネシウム、塩化リチウム、塩酸、過酸化水素、苛性ソーダ、カプロラクタム、過硫酸アンモニウム、ギ酸、クエン酸、グリセリン、酢酸、酸化ジュウテリウム、ジメチルアセトアミド(DMA、 DMAc)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、硝酸、硝酸アンモニウム、硝酸銀、硝酸ナトリウム、食塩、重水、臭化水素、臭化リチウム、酒石酸、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化ナトリウム、スルファミン酸、炭酸アンモニウム、チオシアン酸ナトリウム、ナイロン塩(水中のNylon6-6)、乳化エチル、尿素、発煙硫酸、プロピオン酸カルシウム、プロピレングリコール、ペルオキソ二硫酸アンモニウム、ペルオキソ二硫酸カリウム、ホウ酸、ポリアクリル酸、ポリビニル アルコール(PVA)、ホルムアルデヒド、メタノール、硫酸鉄(II)七水和物 、硫化マグネシウム、硫酸、硫酸アンモニウム、リン酸

ラインナップ

型番 概要
L-Dens7400 最も汎用性の高い密度センサー。密度と温度を測定し、濃度に換算することも可能。防爆対応。

詳細情報

LD SensoPico.JPG
プロセス密度   最大 3000 kg/m3
標準の調整範囲  600 ~ 1200 kg/m3
接液部の材質   ステンレス鋼 1.4404 (316L)
         ハステロイC-276
         インコロイ825
         タンタル
繰返し精度
 密度測定    0.02 kg/m3 (2 x 10-5 g/cm3)*
 温度      0.1 °C
プロセス温度   -40~125 °C
CIP/SIP     145 °C(30分以内)
周辺温度(非Exバージョン)HMIなし
         -40 ~ 70 °C

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