上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ピラニゲージを超えたピラニゲージ!
大気圧~5×10-2Paまでの広い範囲を再現よく測定することができ、「センサ+制御回路」一体化により低コスト・省スペースを実現しました。また、真空生産装置の自動化や真空試験装置の操作の簡略化、データ収集をより簡単に行えるよう通信機能を充実しました。
関連情報
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真空機器 多機能型トランスデューサ用電源表示器/トランスデューサ
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