クローズドループシステムであっても、インターチェンジャブルに使用できます。
Piezo System Jena社ではピエゾアクチェーター用に低ノイズコントローラーを開発・製造しております。
これらのコントローラーは同社のステージと組み合わさることにより、キャリブレーションフリーのシステムとなります。
【仕様】
[ピエゾ用低ノイズドライバー]
○可動軸 1～6軸
○電流値 10-800mA
○対応センサー ストレインゲージ（歪み）・キャパシティブ
○電圧ノイズ ＜0.3mV RMS.@500Hz
○キャリブレーションフリーシステム
→クローズドループシステムであっても、
インターチェンジャブルに使用できる
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【ラインナップ】
[ピエゾ用低ノイズドライバー]
○ラックマウントデジタルドライバー
○高機能プログラマブルデジタルドライバー
○組込み用小型クローズドループコントローラー（アナログ）
○簡易型クローズドループコントローラー（アナログ）
○大容量高機能クローズドループコントローラー（アナログ）
○小型高機能3軸クローズドループコントローラー（アナログ）
[特殊仕様ピエゾステージ]
○バイオトレー用Zステージ
○高速スキャナーL字型XYステージ
○マイクロメーター取り付け用ステージ
○ピンセット型ステージ
○AFM,SPM用ステージ高速ステージ
○高速・精密シャッター用スリット型ステージ
○ウエハー検査用ステージ
[高共振点ピエゾアクチュエーター]
○小型高共振点アクチュエーター
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[ピエゾ用低ノイズドライバー]
○ラックマウントデジタルドライバー
○高機能プログラマブルデジタルドライバー
○組込み用小型クローズドループコントローラー（アナログ）
○簡易型クローズドループコントローラー（アナログ）
○大容量高機能クローズドループコントローラー（アナログ）
○小型高機能3軸クローズドループコントローラー（アナログ）
[特殊仕様ピエゾステージ]
○バイオトレー用Zステージ
○高速スキャナーL字型XYステージ
○マイクロメーター取り付け用ステージ
○ピンセット型ステージ
○AFM,SPM用ステージ高速ステージ
○高速・精密シャッター用スリット型ステージ
○ウエハー検査用ステージ
[高共振点ピエゾアクチュエーター]
○小型高共振点アクチュエーター
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