高パワーの高電圧ピエゾも多数ご用意！研究用途など数多く用いられています
『ピエゾアクチュエーター・ステージ』は、オーテックスが取り扱う
PIEZO SYSTEM JENA社の製品です。
ピエゾシステムイエナで作り出される商品群は、高精度・高剛性を誇り
研究用途から半導体装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に
数多く用いられています。
小型3軸ステージから多軸大型ステージまで、ピエゾ素子とメカニカルステージの
組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。
【特長】
■高精度・高剛性
■研究用途から半導体装置等に数多く用いられる
■小型3軸ステージから多軸大型ステージまで豊富な製品
■高パワーの高電圧ピエゾも多数ご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 |
【用途】 ■研究用途から半導体装置、バイオ関連用途、レーザー機器等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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