【仕様】
バージョン
・HLバージョン/isバージョン/iバージョン/SHLsバージョン/SHLバージョン
分解能
・HLバージョン:0.7nm (20kV)、1.3nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
・isバージョン:0.6nm (15kV)、1.0nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
・iバージョン:0.5nm (15kV)、0.7nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
・SHLsバージョン:0.6nm (15kV)、1.1nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
・SHLバージョン:0.5nm (15kV)、0.7nm (1kV)、0.9nm (500V)、3.0nm (5kV, 5nA, WD 10mm)
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
バージョン
・HLバージョン/isバージョン/iバージョン/SHLsバージョン/SHLバージョン
分解能
・HLバージョン:0.7nm (20kV)、1.3nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
・isバージョン:0.6nm (15kV)、1.0nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
・iバージョン:0.5nm (15kV)、0.7nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
・SHLsバージョン:0.6nm (15kV)、1.1nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
・SHLバージョン:0.5nm (15kV)、0.7nm (1kV)、0.9nm (500V)、3.0nm (5kV, 5nA, WD 10mm)
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。