【仕様】
■SEM
像分解能：0.7 nm (15 kV)、1.4 nm (1 kV)、1.0 nm (1 kV、BD モード)
倍率：×50 〜 ×1,000,000 (STD モード)、×1,000 〜 ×1,000,000 (UHR モード)
×10 〜 ×19,000 (LDF モード) (128 mm × 96 mm 写真サイズ表示時)
■FIB
像分解能：3 nm (30 kV 時)
倍率：×50 〜 ×300,000 (加速電圧により制限あり)
※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
■SEM
像分解能：0.7 nm (15 kV)、1.4 nm (1 kV)、1.0 nm (1 kV、BD モード)
倍率：×50 〜 ×1,000,000 (STD モード)、×1,000 〜 ×1,000,000 (UHR モード)
×10 〜 ×19,000 (LDF モード) (128 mm × 96 mm 写真サイズ表示時)
■FIB
像分解能：3 nm (30 kV 時)
倍率：×50 〜 ×300,000 (加速電圧により制限あり)
※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
