【半導体製造装置向け圧力センサ各種】
半導体製造装置に使われるガスの圧力制御には高い精度が要求されます。ドラックでは半導体装置のサブシステム内の圧力を計測するセンサ、ドライ・エッチングのマスフロー・コントローラに使用できる高精度の圧力センサ、大気圧計など。
■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。
■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。
■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定にも好適。VCR継手に対応。
■DPS5000シリーズ：デジタル圧力センサ。
■モジュール機能：お客様のご要望に合わせて、モジュールをカスタマイズできます。何種類ものシリコン、圧力範囲、温 度、サイズ、材質から選択可能。(詳しくはカタログをダウンロードしてご覧ください）
※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体製造装置に使われるガスの圧力制御には高い精度が要求されます。ドラックでは半導体装置のサブシステム内の圧力を計測するセンサ、ドライ・エッチングのマスフロー・コントローラに使用できる高精度の圧力センサ、大気圧計など。
■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。
■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。
■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定にも好適。VCR継手に対応。
■DPS5000シリーズ：デジタル圧力センサ。
■モジュール機能：お客様のご要望に合わせて、モジュールをカスタマイズできます。何種類ものシリコン、圧力範囲、温 度、サイズ、材質から選択可能。(詳しくはカタログをダウンロードしてご覧ください）
※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
