最終更新日:
2022-04-26 20:25:04.0
半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。
【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】
多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。
【半導体製造装置の流体制御に】
半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。
【注目製品】
新製品：温度変化に強いADROITシリーズ！
半導体製造装置、空調システム、自動車等に適したデジタル温度補正機能搭載の圧力センサです。
【圧力校正器・コントローラ】
半導体製造装置、サブシステムの圧力計測、検査ラインの圧力テスト、品質保証のための圧力標準に。
生産ラインへの導入でコストが各段に削減できます。詳しくは下記リンクをご覧ください。
※尚、イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、代理店よりご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。
基本情報
【半導体製造装置向け圧力センサ各種】
半導体製造装置に使われるガスの圧力制御には高い精度が要求されます。ドラックでは半導体装置のサブシステム内の圧力を計測するセンサ、ドライ・エッチングのマスフロー・コントローラに使用できる高精度の圧力センサ、大気圧計など。
■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。
■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。
■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定にも好適。VCR継手に対応。
■DPS5000シリーズ：デジタル圧力センサ。
■モジュール機能：お客様のご要望に合わせて、モジュールをカスタマイズできます。何種類ものシリコン、圧力範囲、温 度、サイズ、材質から選択可能。(詳しくはカタログをダウンロードしてご覧ください）
※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Druck |
| 用途／実績例 | 圧力センサ・アプリケーション例： 半導体製造装置：ドライエッチング、CVD、CMP他 サブシステム：マスフローコントローラ、温度調整器、 圧力測定器：高精度な参照用圧力センサによる差圧式の流量計測 その他、大気圧計測用途 ※装置内の圧力センサ、圧力を計測、校正する校正器も各種あります。 詳しくはページ内の『Druck 半導体用途向け圧力計測ソリューション』のリンクをクリック！ |
詳細情報
ドラック圧力センサのラインナップ
ADROITと当社圧力センサーの作動温度域と精度比較
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