最終更新日:
2022-09-21 14:32:46.0
半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しませんか？生産コストの削減も可能です！
【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】
流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？
【生産ラインの圧力校正試験に圧力コントローラ PACE】
■高精度、長期安定性、高速反応性と３拍子そろっています
■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍
■生産ライン上の圧力校正試験に最適（試験の自動化プログラムあり）
■モジュール式（シングル・デュアルが選べます）
【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】
■圧力コントローラPACE：モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応
■PACE1000圧力インジケータ：最大３つの圧力を同時表示、最大5チャンネルのセンサが入力可能。シングルチャンネルの圧力計に比べて検査工程のコストを大幅に削減できます。
【半導体製造装置の流体制御に必要な圧力センサ】
詳しくはこの下のリンクをクリック！
※イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、ご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。
基本情報
【装置の流体計測、品質管理に】
■圧力コントローラPACE：モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応。圧力標準にもなります。
■PACE1000圧力インジケータ：シングルチャンネルの圧力計に比べて複数の圧力モニタが可能なので検査工程のコストを大幅に削減できます
■圧力コントローラPACE 5000 (シングル） / 6000（デュアル）
〇高精度〇高速応答〇長期安定性を兼ね備えた使いやすいタッチパネル方式。ダイナミック・レンジに対応。計測試験プログラムも簡単に設定できます。
〇ゲージ圧力レンジ：2.5kPa～21MPa（負圧校正標準）
■圧力インジケータ PACE 1000
生産ラインの圧力計測もこれ一台。ゲージ圧と大気圧を同時表示できます。外部センサーポートは標準２つ、最大３つ接続可能。画面上で再生可能なデータロギング（標準）。
○100 MPaまでの圧力レンジ
○0.005% FSまでの各種精度
○0.01% rdg/年までの安定性
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
| 価格情報 | お問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Druck |
| 用途／実績例 | 【PACE圧力コントローラ事例】 〇半導体装置用圧力制御機器等の圧力計測試験の自動化 〇製造ラインの拡張時に導入で、製造コスト、生産効率が各段に向上。 〇品質管理室の圧力基準に（重水式からの置き換え） 【PACE1000 圧力インジケータ事例】 〇温度調整機材の生産ラインの圧力検査工程に導入、冷媒の吐出圧力安定化によりインバータポンプの消費圧力の節減と生産コストの削減を同時に実現（詳しくは下記PDFをダウンロード） 〇水銀柱やアネロイド気圧計からの置換デジタル化に 〇複数の圧力モニタに 〇校正返却の簡便化（維持費の削減） 〇大気圧測定に 【半導体装置向け圧力センサ各種】 半導体装置、サブシステムの圧力計測から、マスフロー・コントローラ向けの高精度の圧力センサを提供できます。（総合カタログまたはページ内のリンクをご参照ください） |
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