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【測定分野】 薄膜の熱伝導率 【TM3】

最終更新日: 2024-11-03 17:19:43.0
薄膜と微小領域の熱物性測定に。構造部材用耐熱コーティングの評価が可能

サーマルマイクロスコープ TM3は、試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。

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基本情報

【主な特長】
○薄膜と微小領域の熱物性測定に
○試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱
○構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能

【その他の特長】
○超電導限流器用薄膜の熱浸透率評価(産業技術総合研究所 計測標準)
→伝熱シミュレーションに信頼できる実測値を提供可能
○熱的損傷を模擬した超電導薄膜試料の評価(産業技術総合研究所 計測標準)
→THEVA社製YBCO膜表面に、加工用レーザによる局部的加熱損傷を与え熱浸透率分布を測定
→加熱ダメージ部で熱浸透率の低下(2%程度)を確認
○試料表面のコーティングの評価(茨城大学工学部)
→構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能
→超硬工具のコーティングも同様に評価可能
○半導体レーザの電極部
→絶縁層による放熱性低下を可視化
→薄膜による放熱特性の変化が把握可能

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型番・ブランド名 TM3
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