最終更新日:
2024-11-03 17:20:15.0
薄膜と微小領域の熱物性測定に。微小サイズ粒子も自在に測定可能
サーマルマイクロスコープ ＴＭ３は、試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。従来困難だった微小サイズ粒子も自在に測定可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な特長】
○薄膜と微小領域の熱物性測定に
○試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱
○従来困難だった微小サイズ粒子も自在に測定可能
【その他の特長】
○ＳｉＣ複合材料の評価
→粒子サイズは約１００μｍ、粒子はＳｉＣ（シリコンカーバイド）
→次世代半導体材料（ワイドバンドギャップ半導体）、研磨用砥粒などに利用
○樹脂中に埋め込んだフィラーの熱伝導率測定
→フィラー単独の熱物性値管理が可能
→さらなる熱伝導性向上に必要不可欠なデータが得られる
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