最終更新日:
2024-05-31 11:46:42.0
青色LEDや半導体の材料で知られる窒化ガリウムを熱的に評価！！
■微小サイズ（3μm～）の粒子を評価 ■薄膜の熱伝導率を評価 ■サブミクロンオーダーでの測定が可能
基本情報
窒化ガリウム（GaN）は、青色LED材料のほか、
シリコンカーバンド（SiC）と同様に、
次世代の「ワイドバンドギャップ半導体材料」として注目されています。
GaN は、Si や SiC のように単体のウエハーで作成されるわけではなく、
Si やサファイア上にエピタキシャル成長で薄膜上に作成されます。
したがって、熱伝導率を評価したい場合、薄膜状態で評価しなければなりません。
また、純度の高い結晶を作成する方法も開発されてますが、
大きさは爪の先ほどの微小サイズにとどまっているようです。
サーマルマイクロスコープTM3は、上記どちらの形状の
熱伝導率／熱浸透率測定に対応しております。
ここでは詳しい数値はご紹介できませんが、
ほぼ文献値に対応した数値が得られています。
たとえば、微小サイズだと、100μm程度の粒子の評価が可能です。
（SiC 粒子の例）
薄膜だと、サブミクロンオーダーから測定ができます。
（超伝導薄膜の例）
当社のサーマルマイクロスコープTM3は、
薄膜の熱伝導率（100nm～）、微小領域の熱浸透率（3μm～）の測定ができる装置です。
| 価格情報 | ***** 数量・測定の難易度によって価格が変動しますので、詳細はお問合せください。 |
|---|---|
| 納期 |
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※ 数量によって納期が変動しますので、詳細はお問合せください。 |
| 型番・ブランド名 | 依頼測定（TM3） |
| 用途／実績例 | 半導体 電極部の熱物性評価 |
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