最終更新日:
2024-05-31 11:46:41.0
半導体材料「Siウェハの熱物性」を熱拡散率を測定！
半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。
基本情報
半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。
弊社で独自に入手したSiウェハの測定をご紹介します。
測定したのは下記の5種類。
それぞれp型／n型、ドープ量などが違うものです。
１．ケイ素<0.02Ωcm／P,Low,100
２．ケイ素>1000Ωcm／P,High,111
３．ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,100
４．ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,111
５．ケイ素>1000Ωcm／N,High,111
当社のサーモウエーブアナライザーＴＡで測定しますと、
熱伝導率（熱拡散率）
１．約120W/mK（74mm2/s）
２．約140W/mK（87mm2/s）
３．約120W/mK（76mm2/s）
４．約120W/mK（75mm2/s）
５．約140W/mK（87mm2/s）
＊熱伝導率は熱拡散率の測定値と比熱と密度の文献値から計算。
熱伝導率的には、p型／n型でそう大きな差はないようです。
High、lowでは差が出るようですが。
詳細はお問合せください。
| 価格情報 | ***** 数量・測定の難易度によって価格が変動しますので、詳細はお問合せください。 |
|---|---|
| 納期 |
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| 型番・ブランド名 | 依頼測定（TA） |
| 用途／実績例 | 半導体材料開発 |
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株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業
