『N9000シリーズ』は、サブミクロンのパーティクルを除去する
超精密洗浄のための次世代高周波超音波洗浄機です。
約10万G(1MHz/730kHzの場合)の加速度で水分子を振動させ、
その力でパーティクルを被洗浄物から剥離します。
接続する超音波振動子は、
洗浄槽のサイズや仕様に応じて個別に設計・製作いたします。
【特長】
■高ワット密度
■容易で多彩な出力設定で生産性向上
■容易なセッティングと作業効率性の向上
■ユーザビリティに優れたインターフェイス
■グローバル対応が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【共通仕様】
■電源(V):AC200V~AC230V ±10% 単相 50Hz or 60Hz ±2%
■基本機能:パワーコントロール/周波数自動追尾モード
■外形寸法(mm):W360×D480×H150 (コネクタ、ファン、スイッチ等の突起物は除く、ゴム足は含む)
■重量(kg):約14kg
■所要電力:1.80kVA(1200W出力時)
■仕様環境
・温度:5~40℃
・湿度:0~80%(結露なきこと)
■振動子の最高使用液温度:70℃(沸騰なきこと)
■対応可能な超音波振動子 (公称出力)- 1200W以上も製作可能:1200W
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体ウェハ ■ハードディスク基板 ■ディスプレイ用ガラス ■サファイア基板 ■水晶ウェハー ■石英ガラス ■メタルマスク等の洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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日本エマソン株式会社 ブランソン事業本部