【特長】
弊社独自の高性能比例電動弁を搭載することで、従来のMFC数台分、減圧弁やシャットオフ弁の機能もカバーした、MFCの開発に成功いたしました。
●大差圧(2.2MPa)に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。
●大流量(2500lN/min (N2))に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。
●小~大流量まで1台で対応できます。
(例えば、50~2500lN/min(N2)を1台でカバー)
●アンモニア対応機種もラインナップ
◆校正を行ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありません。
◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能です。
◆特別な電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。
◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に応じて最適なご提案を致します。
弊社独自の高性能比例電動弁を搭載することで、従来のMFC数台分、減圧弁やシャットオフ弁の機能もカバーした、MFCの開発に成功いたしました。
●大差圧(2.2MPa)に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。
●大流量(2500lN/min (N2))に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。
●小~大流量まで1台で対応できます。
(例えば、50~2500lN/min(N2)を1台でカバー)
●アンモニア対応機種もラインナップ
◆校正を行ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありません。
◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能です。
◆特別な電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。
◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に応じて最適なご提案を致します。