大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

最終更新日: 2015-06-01 13:21:47.0

最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです。

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
＊保護等級　IP 65　取得機種有り

基本情報

対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。

注：アンモニア仕様は特注できます。

ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り）

価格情報	- 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Type8626
用途／実績例	大気圧非平衡プラズマの流体制御プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

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