大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー(MFC)

最終更新日: 2023-03-27 09:08:17.0

装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)

大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！

業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。

【ビュルケルトの産業用マスフローは】
●大流量　　→　～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能
●高圧仕様　→　～1.0MPaまで対応
また
●低差圧仕様　→　5KPaから対応
●タイトシャット可能　→　別置き電磁弁の費用とスペースを削減
●応答速度　　　　　　→　300msec～
●暖機運転　　　　　　→　1min

【さらにIoT世代のマスフローとして】
●各種通信規格に対応
EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応

Gas: Mass Flow Management 874x-Serie (English)

基本情報

【特長】
弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。
◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。
◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。
◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。
◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。
◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。
ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！

価格情報	数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	ビュルケルトのマスフローコントローラ
用途／実績例	■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種工業炉・燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■原子吸光分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種など

詳細情報

IoT世代MFCも新登場
EtherNet/IPやburkert専用BUSに対応し、IoT指向にマッチするMFCも新登場しました。ネットワークやPCへの接続、複数台のMFCのスマートコントロールも順次実現予定です。特に研究室や小規模ラボ棟でのマスフロー導入等にぜひご検討ください！

EtherNet/IP他各種フィールドバス対応機種　MFC登場
EtherNet/IP他に対応したType874Xシリーズも新登場。Type874Xシリーズは複数のMFCを円滑に使用することをも想定しており、複数台でご使用頂くことでハイコストパフォーマンスを実現します。従来のマスフローコントローラと比較して1台で幅広く制御ができるため、部品単体だけではなくガス制御そのものに対してソリューション提案を行います！

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