高速応答(最速0.5秒以内)で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁(比例電磁弁)を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ/マスフローメータです。
本製品Type8626は、最大1500L/minまで制御可能な、大流量用のマスフローコントローラです。
保護等級 IP 65 取得機種です。
基本情報
【特長】
◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありません。
◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能です。
◆特別な電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。
◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に応じて最適なご提案を致します。
◆入出力信号や電源はコネクタを通じて配線。コネクタは各種ご用意しておりますのでご都合に良いものをお選び頂けます。
◆マスフローコントローラ/マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロードして頂けます(コネクターは別途必要)。
◆保護等級 IP 65 取得機種
価格情報 | - 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
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価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Type8626マスフローコントローラ |
用途/実績例 | ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御 ■プラズマ制御 などなど... |
お問い合わせ
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ビュルケルトジャパン株式会社