最終更新日:
2015-08-20 10:40:40.0
従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応!
●CANOpenに対応したMFC
●高速応答(最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内)
●10[ml/min]~1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ
●保護等級IP65
基本情報
【特長】
◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行
ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありませ
ん。
◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能
◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に
応じて最適なご提案を致します。
◆CANopen対応
◆保護等級IP65
価格情報 | - 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
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価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Type874X |
用途/実績例 | ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御 |
お問い合わせ
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ビュルケルトジャパン株式会社