最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最終更新日: 2016-10-25 11:43:35.0

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で30-1500L/minを制御できる気体向けマスフローコントローラ

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！

本製品Type8626は、
●最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能
●レンジアビリティ1:50により、一台で30-1500L/minの制御を実現
●大流量用のマスフローコントローラ
●保護等級IP 65取得機種
●専用電源は不要（DC24Vにて起動）
●標準仕様はアナログ信号入出力対応
●フィールドバス等も承ります。

基本情報

【特長】
◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありません。
◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能です。
◆特別な電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。
◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に応じて最適なご提案を致します。
◆入出力信号や電源はコネクタを通じて配線。コネクタは各種ご用意しておりますのでご都合に良いものをお選び頂けます。
◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロードして頂けます（コネクターは別途必要）。
◆保護等級　IP 65　取得機種

価格情報	- 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Type8626マスフローコントローラ
用途／実績例	■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御 ■プラズマ制御　　などなど．．．

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