日本ブッシュ株式会社

半導体製造用途の真空

最終更新日: 2022-11-28 09:50:45.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2021/12/14
半導体製造向け真空ソリューション
=== 特長 ==========
●高信頼性:世界の半導体先進的企業で採用実績
●幅広い製品群:ロードロックからナノ粒子合成まで対応
●ワンストップ:ポンプ単体からサブファブの管理までお任せください

=== 用 途 ================
●ライトプロセス:ロードロック、トランスファーチャンバーなど
●ミディアムプロセス:アッシング、シリコンエッチング、PVDなど
●ハーシュプロセス:金属エッチング、エピタキシー、ALDなど

=== 対応製品 =====
●ドライスクリュー真空ポンプ COBRA:ライトからハーシュまで
●多段ルーツ真空ポンプ TORRI:ロードロック向け
●その他ガス除害装置、真空計など


■お知らせ■
これらの製品はカタログの内容も含め海外の仕様で記載されております。
日本仕様についてはお気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

真空ポンプ『総合カタログ』
真空ポンプ『総合カタログ』 製品画像
【掲載製品】
○オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ R5ファミリー
○2段式ローターリーベーン真空ポンプ ZEBRAファミリー
○ワンス・スルー・オイル式ロータリーベーン真空ポンプ
 HUCKEPACKファミリー
○スクロール式真空ポンプ FOSSAファミリー
〇ドライスクリュー式真空ポンプ COBRAファミリー
○拡散真空ポンプ RANGUファミリー
○サイドチャンネルブロワーSAMOSファミリー
○ドライクロー真空ポンプ&コンプレッサー MINKファミリー
○ドライロータリーベーン真空ポンプ SECOファミリー
〇多段ルーツポンプTORRIファミリー
○ルーツ式真空ポンプ・ブロワー TYRファミリー
○メカニカルブースターPANDA/PUMAファミリー

※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
 またはPDF資料をダウンロードしてください。
半導体向けドライポンプとオンサイトサービス
半導体向けドライポンプとオンサイトサービス 製品画像
出展ソリューション
■ ドライ真空ポンプ:
半導体製造プロセスの高効率化と品質向上をサポートする最新のドライ真空ポンプをご紹介します。
■ ガス除害装置:
当社特許取得済みの技術を搭載。動作信頼性を最大限に高め、最高レベルのプロセスの安定性を確保します。
■ オンサイトサービス:
経験豊富な専門家が常駐し、設備の運用を管理し、故障時に迅速な対応を行います。
■ ドライポンプの修理・オーバーホール:
メーカーを問わず、高品質の修理・オーバーホールを提供します。

★評価用ドライ真空ポンプ無料貸し出し★
日本ブッシュのドライ真空ポンプはハーシュプロセスにおいても耐久性に優れ多くのお客様から高い評価を受けています。評価機貸し出しはお気軽にお問合せ下さい。

★無料コンサルティングセッション★
SEMICON Japan会期中、経験豊富な半導体分野の専門家がBusch本社より来日し、無料コンサルティングセッションを行います。お気軽にお立ち寄りください。

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