【その他特長】
■コンパクト・低消費電力
■質量：200g
■サイズ：W46mm×H49mm×L106mm
■消費電力：0.5W
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■コンパクト・低消費電力
■質量：200g
■サイズ：W46mm×H49mm×L106mm
■消費電力：0.5W
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関連情報
【ラインアップ】
■M-351PG-SP/N16
■M-351PG-SP/N25
■MP2/N16
■MP2/N25
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■M-351PG-SP/N16
■M-351PG-SP/N25
■MP2/N16
■MP2/N25
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【ラインアップ】
■M-350PG-SD スタンダードタイプ
■M-350PG-SP セットポイント付タイプ
■M-350PG-RS RS485タイプ
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■M-350PG-SD スタンダードタイプ
■M-350PG-SP セットポイント付タイプ
■M-350PG-RS RS485タイプ
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【仕様（抜粋）】
■入力電圧：AC90～250V 50/60Hz
■使用温度：5～50℃
■保管温度：-20～60℃
■ゲージ認識：自動
■接続ゲージ：オンゲージ（M-311HG）ピラニ、キャパシタンス、クリスタルイオン、CCピラニ
■外形寸法（mm）
・1Ch接続タイプ：84×106.3×212
・3Ch接続タイプ：128.5×106.3×212
■対応：CEマーキング、RoHS、IP30
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■入力電圧：AC90～250V 50/60Hz
■使用温度：5～50℃
■保管温度：-20～60℃
■ゲージ認識：自動
■接続ゲージ：オンゲージ（M-311HG）ピラニ、キャパシタンス、クリスタルイオン、CCピラニ
■外形寸法（mm）
・1Ch接続タイプ：84×106.3×212
・3Ch接続タイプ：128.5×106.3×212
■対応：CEマーキング、RoHS、IP30
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【仕様（抜粋）】
■入力電圧：DC＋15～30V
■消費電力：2.4W
■セットポイント：2接点出力（DC30V 1A）
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）対応可能
■使用温度範囲：5～55℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：CC1
■外形寸法（mm）：50×50×110（継ぎ手NW25仕様）
■フランジ形状：NW25、NW40、φ70ICF
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■入力電圧：DC＋15～30V
■消費電力：2.4W
■セットポイント：2接点出力（DC30V 1A）
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）対応可能
■使用温度範囲：5～55℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：CC1
■外形寸法（mm）：50×50×110（継ぎ手NW25仕様）
■フランジ形状：NW25、NW40、φ70ICF
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【仕様（抜粋）】
■入力電圧：DC＋15～30V
■消費電力：2.4W
■セットポイント：2接点出力（DC30V 1A）
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）対応可能
■使用温度範囲：5～55℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：CP2
■外形寸法（mm）：50×50×110（継ぎ手NW25仕様）
■フランジ形状：NW25、NW40、φ70ICF
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■入力電圧：DC＋15～30V
■消費電力：2.4W
■セットポイント：2接点出力（DC30V 1A）
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）対応可能
■使用温度範囲：5～55℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：CP2
■外形寸法（mm）：50×50×110（継ぎ手NW25仕様）
■フランジ形状：NW25、NW40、φ70ICF
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【仕様（抜粋）】
■入力電圧：DC＋20～28V
■消費電力：12W
■セットポイント：2接点出力
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）
■使用温度範囲：5～50℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：MX-1
■外形寸法（mm）：149×70×50（NW25）
■フランジ形状：NW16、NW25、NW40、φ70ICF
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■入力電圧：DC＋20～28V
■消費電力：12W
■セットポイント：2接点出力
■入出力コネクタ：D-sub9ピン
■最大ケーブル長：300m（1mm2）
■使用温度範囲：5～50℃
■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時）
■センサー型名：MX-1
■外形寸法（mm）：149×70×50（NW25）
■フランジ形状：NW16、NW25、NW40、φ70ICF
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【その他特長】
■10^−7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることなく、
スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、
プロセス圧力コントロールにも使用できる
■高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
■体積比にて40％の省スペース、省電力化を実現（従来機「M-310HG」と比較）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■10^−7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることなく、
スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、
プロセス圧力コントロールにも使用できる
■高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
■体積比にて40％の省スペース、省電力化を実現（従来機「M-310HG」と比較）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】
■M-342DG-1D
■M-342DG-1N
■M-342DG-11
■M-342DG-12
■M-342DG-13
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■M-342DG-1D
■M-342DG-1N
■M-342DG-11
■M-342DG-12
■M-342DG-13
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】
■M-350PG-SD スタンダードタイプ
■M-350PG-SP セットポイント付タイプ
■M-350PG-RS RS485タイプ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■M-350PG-SD スタンダードタイプ
■M-350PG-SP セットポイント付タイプ
■M-350PG-RS RS485タイプ
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【キャパシタンスゲージの特長】
■高精度で安定した圧力測定
■質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト
■消費電力0.5W
【コールドカソードピラニゲージの特長】
■大気圧から高真空まで、広い圧力範囲を1 台で安定した圧力測定が可能
■1台2役でコスト低減
■独自の光トリガ機構を採用し測定停止を低減
■幅広いプロセスに対応
■メンテナンス可能で低ランニングコスト
■メンテナンスは部品交換のみ
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■高精度で安定した圧力測定
■質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト
■消費電力0.5W
【コールドカソードピラニゲージの特長】
■大気圧から高真空まで、広い圧力範囲を1 台で安定した圧力測定が可能
■1台2役でコスト低減
■独自の光トリガ機構を採用し測定停止を低減
■幅広いプロセスに対応
■メンテナンス可能で低ランニングコスト
■メンテナンスは部品交換のみ
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お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
