最終更新日:
2023-01-20 14:57:49.0
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし!ハードプロセス装置に対応したモデル
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を
向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。
半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など
さまざまな装置にお使いいただけます。
【特長】
■耐食性の向上(Niフィラメント採用など)
■再現性がよく低価格
■5×10^-2Paから大気圧
■取付方向の制約がない
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■M-351PG-SP/N16
■M-351PG-SP/N25
■MP2/N16
■MP2/N25
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体・電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、 プラズマCVD装置、LD-CVD装置 ■食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社