![ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/c46/2000692864/IPROS95572971628203205824.png?w=140&h=140)
【仕様(抜粋)】
■使用真空領域:大気圧~10^-7Pa程度
■バルブ全閉時リーク量:6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■オリフィス径:φ8.5mm
■許容加熱温度
・バルブ開時150℃
・バルブ閉時125℃
■接続フランジ:φ70ICF、NW25フランジ
■質量:0.5kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■使用真空領域:大気圧~10^-7Pa程度
■バルブ全閉時リーク量:6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■オリフィス径:φ8.5mm
■許容加熱温度
・バルブ開時150℃
・バルブ閉時125℃
■接続フランジ:φ70ICF、NW25フランジ
■質量:0.5kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。