最終更新日:
2023-01-23 16:24:06.0
軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません
『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを
導入するための製品です。
軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、
真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。
高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして
適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。
【特長】
■超高真空領域用
■大気混入なし
■優れた許容加熱性
■容易なメンテナンス
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(抜粋)】
■使用真空領域：大気圧～10^-7Pa程度
■バルブ全閉時リーク量：6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■オリフィス径：φ8.5mm
■許容加熱温度
・バルブ開時150℃
・バルブ閉時125℃
■接続フランジ：φ70ICF、NW25フランジ
■質量：0.5kg
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