半導体製造装置用光学部品に使用する事が出来るコーティング製品群です。
【対応可能光源】
■超高圧水銀灯(g/h/i-line)対応ARコート
■超高圧水銀灯(g/h/i-line)対応AL増反射ミラー
■365nmHR
■無偏光ビームスプリッター(ハイブリッドタイプ)
■780nmPBS
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CBCオプテックス株式会社