【標準仕様】
■内部
・真空
■外部
・大気
■リークテスト
・He ガスリーク 1.0x10⁻⁹ Pa・m³/sec 以下
■フランジ規格
・JIS真空フランジ(VG・VF)
■材質
・ベローズ:SUS304、SUS316L
・フランジ:SUS304、SUS316、SUS316L
※材質変更可能ですのでご相談ください。
■ベローズのバネ定数についてはお問い合せください。
■ベローズの板厚は変更可能ですのでお問い合せください。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
■内部
・真空
■外部
・大気
■リークテスト
・He ガスリーク 1.0x10⁻⁹ Pa・m³/sec 以下
■フランジ規格
・JIS真空フランジ(VG・VF)
■材質
・ベローズ:SUS304、SUS316L
・フランジ:SUS304、SUS316、SUS316L
※材質変更可能ですのでご相談ください。
■ベローズのバネ定数についてはお問い合せください。
■ベローズの板厚は変更可能ですのでお問い合せください。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。