CKD株式会社

CKD シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」

最終更新日: 2023-07-26 11:56:24.0
1台で シロキサン・オゾン 2種類の汚染物質除去

■1台で2種類の汚染物質除去
活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去

■高圧・大流量対応可能
圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能

■高い除去率
99%以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能

■省スペース
当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現

基本情報

詳しくはカタログをご覧ください。

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用途/実績例 ライン・システムのクリーンエア化
>電子部品・光学部品製造ライン
>半導体製造システム
>二次電池製造システム などおすすめ

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