上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2022/09
関連情報
【半導体製造装置向け】排ガス処理装置(スクラバー)
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【特長】
酸・アルカリなどのガスを適切に処理。
スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。
また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。
スクラバー:薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。
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株式会社ダルトン