排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設備が無い場所でも、安全な運転環境を実現できます。
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。
・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。
・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。
※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
【特長】
酸・アルカリなどのガスを適切に処理。
スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。
また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。
スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。
酸・アルカリなどのガスを適切に処理。
スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。
また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。
スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。
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【半導体製造装置向け】排ガス処理装置（スクラバー）
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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株式会社ダルトン
