上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2022/09
関連情報
薬液供給・回収装置
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●薬液供給装置
N2圧送式、ポンプ圧送式から選択でき、液管理、pH 管理、自動濃度管理機能付もできます。お客様の安全を第一に考えた製品をご提供致します。
●薬液回収装置
ポリタンク回収や大型タンク回収も設計・製作します。※大型タンクも可能。
コンベア式エッチング装置
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※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり
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※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
溶剤再生装置（連続式）
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【特長】
■IEC 国際標準規格の防爆認証
IEC 60079 シリーズ防爆構造に適合
■コンパクト設計なので設置スペースを選びません
■細かい温度設定が可能
蒸留温度の設定を 50℃～200℃の間で 1℃単位で設定でき、なおかつ加熱ヒーター出力調整も可能なのでより広範囲な溶剤再生に対応できます。
■操作方法が簡単
コンピューターパネルのボタンを押すだけで、自動運転ができます。
■ダイアフラムポンプ内蔵
本装置にはエアー駆動式ダイアフラムポンプ内蔵されていますので、廃溶剤を蒸留タンク内へ自動移送することが可能です。（操作盤の上部にポンプ作動用タイマーが付いています。）
■後始末も簡単
蒸留タンク底部に手動式のドレンバルブが装備されていますので、再生作業終了後に残った液状スラッジを簡単に除去出来ます。尚、スラッジが固形化する場合には付属のライナーバッグ（耐熱ナイロン袋）をご使用ください。
ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり
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【カスタマイズ可な機能】
○漏洩センサー
○排気圧センサー
○非常停止スイッチ
○一時停止スイッチ（自動メカ付）
○扉センサー（自動メカ付）
○圧力スイッチ
○温度センサー（恒温度仕様）
○自動消火システム（有機用）
○パトライト
○網入りガラス又は強化ガラス（有機用）
○爆圧ハッチ（有機用）
○各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。
レジスト剥離洗浄装置 ※テスト可能機種あり
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ドラフトチャンバー（機器組込み型）
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基本ドラフトチャンバー内に使用機器を組込むことにより、使い勝手の向上と安全面の向上が得られます。
ダルトンでは用途に合わせ、最適なユニットをご提供致しますので、作業効率の向上が実現します。
現在お使いの槽やスピンコーターを組込む仕様にも対応致します。
【特長】
■内部配管、配線等が整理され、外観がスッキリ。
■責任範囲の明確化。
■安全面も考慮。
薬品保管庫
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【特長】
■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。
■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。
石英管洗浄装置
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※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
治具洗浄装置
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※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
石英管保管庫
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【特長】
■石英管や治具を安全に保管出来ます。
■縦型保管と横型保管を選べます。
■オプションにてN2パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。
※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
レチクルキャリアストッカー
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【特長】
■レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。
■庫内はクリーンな環境が維持できます。
■バーコード管理にも対応できます。
キャリアストッカー
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【特長】
■キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管するものです。
■庫内はクリーンな環境が維持できます。
排ガス処理装置（スクラバー）
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【特長】
酸・アルカリなどのガスを適切に処理。
スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。
また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。
スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。
ボンベ真空加熱炉
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※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
スピンドライヤー
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【特長】
■1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。
■自動機への組込も可能です。
■割れ易い（GaAsなど）ワーク用もあります。
HFEベーパー乾燥装置
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【特長】
■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。
■各基板の全面に、均一にHFE ベーパーが凝縮する為、全ての基板において均一な乾燥処理を行うことができます。
■石英槽ですので金属溶質も有りません。
手動陽極酸化装置
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【特長】
■用途に合わせたカスタマイズが可能で研究開発等に適しています。
■オプションにより薬液供給・回収機能、濃度計等選択出来ます。
■陽極酸化治具は各種サイズに応じてご提案致します。
ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）
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【特長】
■多孔質シリコンを全自動にて形成します。
■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。
■N型、P型両方に対応出来ます。
■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。
ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。
※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。
バッチ式溶剤再生装置
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【特長】
■IEC 国際標準規格の防爆認証
IEC 60079 シリーズ防爆構造に適合
■コンパクト設計なので設置スペースを選びません
■細かい温度設定が可能
蒸留温度の設定を 50℃～200℃の間で 1℃単位で設定でき、なおかつ加熱ヒーター出力調整も可能なのでより広範囲な溶剤再生に対応できます。
■操作方法が簡単
コンピューターパネルのボタンを押すだけで、自動運転ができます。
■ダイアフラムポンプ内蔵
本装置にはエアー駆動式ダイアフラムポンプ内蔵されていますので、廃溶剤を蒸留タンク内へ自動移送することが可能です。（操作盤の上部にポンプ作動用タイマーが付いています。）
■後始末も簡単
蒸留タンク底部に手動式のドレンバルブが装備されていますので、再生作業終了後に残った液状スラッジを簡単に除去出来ます。尚、スラッジが固形化する場合には付属のライナーバッグ（耐熱ナイロン袋）をご使用ください。
リフトオフ装置 ※テスト可能機種あり
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【オプション】
・Suffix System…剥離層の超音波の効率を向上
・DoM Jet System…液中高圧Jet機能とクイックダンプ機能でHU型、SL型、ML型の機能を向上
・USF System…大量のスラッジを高効率に回収するシステム。ISF Systemとの併用も可
・ISF System…剥離層で出るスラッジを分離、改修するインラインスラッジ除去装置
・新Jetチャンバー機能…チャンバ―内に付着したスラッジの自動クリーニングシステム
※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
お問い合わせ
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株式会社ダルトン
