最終更新日:
2020-01-27 11:48:17.0
フッ酸・硝酸・窒素酸化物を同時に無害化することが可能な設備です
フッ酸・硝酸処理設備は、半導体製造事業や太陽電池製造事業などから
排出されるフッ酸や硝酸、窒素酸化物を含む廃ガスを処理する設備です。
本設備は、フッ酸、硝酸を除去するアルカリスクラバーや窒素酸化物を
還元する触媒反応塔、触媒反応に適した温度まで廃ガスを加熱する為の
ガス加熱器などで構成されています。
アルカリスクラバー用の充填物はMIRAXを使用し、従来の不規則充填物と
比較して優れた性能を備えており、既存の設備よりもコンパクトな設計が
可能です。
【特長】
■様々な濃度の有害ガスに対応
■余熱の有効利用が可能
■エネルギー消費量が少ない
■処理ガス中のリークアンモニアを防止する制御で周囲の環境に配慮
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【適用例（一部）】
■半導体エッチング工程廃ガス処理
■太陽電池製造工程廃ガス処理
■ステンレス酸洗工程廃ガス処理
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