【基本仕様】
■印刷寸法:8インチウエハ、6インチウエハ
■版枠寸法:550 mm x 650 mm 外寸
■印刷機部 画像認識(二値化/パターンマッチング)
:位置合わせ方式 位置合わせ精度 ±10μm
■スクリーンサイズ:550 mm × 650 mm
■スキージ印圧制御:垂直フロート型エアバランス方式
■スキージ駆動:ULVD(超低振動駆動)方式(PAT.P)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■印刷寸法:8インチウエハ、6インチウエハ
■版枠寸法:550 mm x 650 mm 外寸
■印刷機部 画像認識(二値化/パターンマッチング)
:位置合わせ方式 位置合わせ精度 ±10μm
■スクリーンサイズ:550 mm × 650 mm
■スキージ印圧制御:垂直フロート型エアバランス方式
■スキージ駆動:ULVD(超低振動駆動)方式(PAT.P)
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