『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。
製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を
満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」
「全数 He リークテスト」を実施しています。
Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。
【ER-1HL 仕様(抜粋)】
■一次測圧力(MPa):2~15
■二次側使用圧力(MPa):0.1~0.99
■使用温度(℃):-5~40(設計温度-10~75℃)
■口径:1/4
■重量(kg):1.3
■内臓フィルター濾過度:5μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ER-1LL 仕様(抜粋)】
■一次測圧力(MPa):1~5
■二次側使用圧力(MPa):0.1~0.99
■使用温度(℃):-5~40(設計温度-10~75℃)
■口径:1/4
■重量(kg):1.1
■内臓フィルター濾過度:20μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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