株式会社イー・スクエア

プラズマ表面処理装置「AP Plasma Precise II」

最終更新日: 2020/07/14

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

CFRP、カーボン等の繊維における表面改質に適しています。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
プラズマ表面処理装置「AP Plasma Precise II」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。
これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。
また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。

関連情報

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【リチウムイオン電池への電解液の注入時間の短縮について】
ワークの表面に親水性を持たせることで、毛管現象(毛細管現象)の効果があがるため、電解液の注入時間短縮が期待できます。
もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お問合せいただけますと幸いです。

カーボン・CFRPの表面改質向け プラズマ表面処理装置
カーボン・CFRPの表面改質向け プラズマ表面処理装置 製品画像

【大気圧プラズマ表面改質の優位点】
■ドライ処理のため乾燥工程(ドライプロセス)が不要
■目的とする接触角をコントロールできる
■活性ガス(OHラジカル)の侵入部分全て処理ができる
■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる
■装置がコンパクト(省スペース)
■親水処理では排ガス等の後処理も不要
■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型)
■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型)
■半導体素子上の処理でも素子性能変化がない
■処理中表面へのUVダメージがない
■Particle発生がない(ダウンストリーム型)
■残渣物が出来ない表面乾燥ができる
■反応性の高い酸素ラジカル粒子を高密度に生成するので、高速に処理でき、生産性の向上に寄与
■添加ガス種の変更により、マトリックス材に見合う官能基かアミン基の選択が可能
■液晶ポリマー(LCP)本来の有効な電機特性を失うことなく、接着性を高めることが可能
■接着剤を用いないので、低誘電率での直接接合が可能
■界面制御による同種・異種材料接合技術

プラズマ表面処理装置「AP Plasma Precise II」
プラズマ表面処理装置「AP Plasma Precise II」 製品画像

【大気圧プラズマ表面改質の優位点】
■ドライ処理のため乾燥工程(ドライプロセス)が不要
■目的とする接触角をコントロールできる
■活性ガス(OHラジカル)の侵入部分全て処理ができる
■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる
■装置がコンパクト(省スペース)
■親水処理では排ガス等の後処理も不要
■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型)
■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型)
■半導体素子上の処理でも素子性能変化がない
■処理中表面へのUVダメージがない
■Particle発生がない(ダウンストリーム型)
■残渣物が出来ない表面乾燥ができる
■反応性の高い酸素ラジカル粒子を高密度に生成するので、高速に処理でき、生産性の向上に寄与
■添加ガス種の変更により、マトリックス材に見合う官能基かアミン基の選択が可能
■液晶ポリマー(LCP)本来の有効な電機特性を失うことなく、接着性を高めることが可能
■接着剤を用いないので、低誘電率での直接接合が可能
■界面制御による同種・異種材料接合技術

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【リチウムイオン電池への電解液の注入時間の短縮について】
ワークの表面に親水性を持たせることで、毛管現象(毛細管現象)の効果があがるため、電解液の注入時間短縮が期待できます。
もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お問合せいただけますと幸いです。

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【リチウムイオン電池への電解液の注入時間の短縮について】
ワークの表面に親水性を持たせることで、毛管現象(毛細管現象)の効果があがるため、電解液の注入時間短縮が期待できます。
もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お問合せいただけますと幸いです。

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【リチウムイオン電池への電解液の注入時間の短縮について】
ワークの表面に親水性を持たせることで、対向面との毛管現象(毛細管現象)の効果があがるため、電解液の注入時間短縮が期待できます。
もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お問合せいただけますと幸いです。

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大気圧プラズマ表面処理装置『Precise』について

プラズマ発生部を処理部と分離されているため(ダウンストリーム型)、処理方面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、液晶ポリマー(LCP)やフッ素樹脂へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着することが可能です。

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【当社独自の装置特長(ダウンストリーム型)】
■半導体チップ上の処理も可能(処理後のトランジスタ特性変化なし)
■4nmの間隔でも絶縁破壊等の発生が無い
■ワーク内部の分子間架橋特性変化や分子切断の影響やダメージ発生がない
■Particle発生が無い(0.3μ以上及び2.83SLMのサンプリング時)
■窒素消費が少ない
■処理後のワークへの帯電はほぼゼロ

【当社大気圧プラズマ装置】
■ダウンストリーム型:Precise D型
■プラナー型:Precise P型
■スポット型:Precise S型

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。

【プラズマ装置による接着性向上】PTFE・PFA表面への超親水化
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※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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