最終更新日:
2019-01-30 10:55:01.0
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー
【特徴】
○高精度
流量精度±1％を実現
○高性能センサ
低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
高速応答ピエゾアクチュエータを採用
デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
パーティクル発生 極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー
【特徴】
○高精度
流量精度±1％を実現
○高性能センサ
低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
高速応答ピエゾアクチュエータを採用
デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
パーティクル発生 極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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