最終更新日:
2020-07-14 11:38:03.0
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない
高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム
【特徴】
○シンプルでデットスペースレスな構造
○優れた圧力変動特性
上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため
上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ
ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成
○フローファクターの採用
様々なガス種に対応可能
○優れた精度
○流量自己診断機能の搭載
○すばやい応答性
○マウントポジションフリー
○デバイスネット通信にも対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報
1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2. 応答時間が早い（0.5秒以下）
3. 優れた制度（標準タイプの場合で±1.0％S.P.以内）
4. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載
5. 取付姿勢の影響を受けません。
6. 流量自己診断機能を搭載
7. ガス種を選びません
8. RoHS対応
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ◆詳細製品カタログをご参照願います。 |
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