最終更新日:
2023-10-19 19:09:48.0
バルブの開閉をセンシングします！
センサによりバルブの外部へのリークを検知。
またバルブの開閉や温度を正確に検知することが可能になりました。
バルブに不具合が起こる前に
劣化部品の交換時期を知ることが出来るため、
装置の長期信頼性を向上させることが出来ます。
※詳細はお問い合わせください。
基本情報
■半導体製造装置用 超小型IoTバルブ
超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、
超小型IGS（集積化ガス供給システム）にてIoT化を実現し、
正確な開閉検知が可能になりました。
・耐久性：400万回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃
※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品！
■高耐久IoTバルブ
高耐久バルブにセンサを搭載することで、
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：1億回（実験値）
・使用温度：-10～＋80℃
■高温・高耐久IoTバルブ
高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても
安定したセンシングが可能になりました。
・耐久性：3,000万回（実験値）
・使用温度：-10～＋150℃
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