最終更新日:
2024-10-31 10:19:29.0
流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。
<特徴>
1.バルブを駆動させると任意のガスのみを分析機に供給し、
閉時に内部に残る不要なガスを排出します。
2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。
3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。
4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、
200万回以上の高耐久化を実現。
5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能を実現。
貴重なサンプリングガスを無駄にしません。
基本情報
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