藤倉コンポジット株式会社

ステッピングモータ駆動式超精密減圧弁 「RS.M/Sシリーズ」

最終更新日: 2024-10-22 13:05:36.0
感度0.1%F.S. ヒステリシス0.1%F.S.という高精度の空気圧制御

●独自構造により微細な圧力調整が簡単にできます。
●リリーフ感度が優れている為,高精度な圧力制御が可能です。
●5 相ステッピングモータ駆動により,1 ステップの駆動で設定圧をわずかだけ,確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば,圧力分解能0.1kPa 以下の高分解能設定が可能です。

基本情報

●優れた特性
リリーフ特性,圧力特性,流量特性が非常に優れています。
リリーフ最小圧力(リリーフ感度)は0.03kPa(理論計算値)
●優れた始動安定性
長時間使用しなかった後でも以前の設定のまま始動しますので、再調整は
必要ありません。
●長期間の圧力安定性
圧力設定後,設定圧を長期間正確に保持します。
設定後の圧力降下はほとんどありません。
●停電しても圧力を保持
突然の停電でも,2 次圧は設定圧を保持します。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。

● 可動部の重量キャンセル
 ⇒液晶貼り合わせ、装置重量キャンセラー
● 精密押圧コントロール
 ⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器
● 工作機械
 ⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等

弊社シリンダ 【エアベアリングシリンダ】との組み合わせにより
より高度な制御が可能になります!

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