最終更新日:
2023-11-13 14:02:08.0
感度0.1%F.S. ヒステリシス0.1%F.S.という高精度の空気圧制御
●独自構造により微細な圧力調整が簡単にできます。
●リリーフ感度が優れている為，高精度な圧力制御が可能です。
●5 相ステッピングモータ駆動により，1 ステップの駆動で設定圧をわずかだけ，確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば，圧力分解能0.1kPa 以下の高分解能設定が可能です。
基本情報
●優れた特性
リリーフ特性，圧力特性，流量特性が非常に優れています。
リリーフ最小圧力（リリーフ感度）は0.03kPa（理論計算値）
●優れた始動安定性
長時間使用しなかった後でも以前の設定のまま始動しますので、再調整は
必要ありません。
●長期間の圧力安定性
圧力設定後，設定圧を長期間正確に保持します。
設定後の圧力降下はほとんどありません。
●停電しても圧力を保持
突然の停電でも，2 次圧は設定圧を保持します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 可動部の重量キャンセル ⇒液晶貼り合わせ、装置重量キャンセラー ● 精密押圧コントロール ⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械 ⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等 弊社シリンダ 【エアベアリングシリンダ】との組み合わせにより より高度な制御が可能になります！ |
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藤倉コンポジット株式会社
