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最終更新日:
2018-09-06 20:11:52.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
《高純度・高加工能率・高分散・スクラッチフリー》を求める方に適したポリシング材のご紹介!
【掲載内容】
■PLANERLITE‐4000:SiO2膜(層間絶縁膜、STI)を対象とするポリシング材
■PLANERLITE‐6000:Poly-Siを対象とするポリシング材
■PLANERLITE‐7000:ダマシン工程に使用される銅配線を対象とするポリシング材
■PLANERLITE‐8000:銅配線で使用されるバリアメタルを対象とするポリシング材
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