最終更新日:
2023-05-15 16:39:14.0
耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末です。
造粒焼結粉法で作製された純度99.99%以上の高純度イットリア溶射材料です。
イットリア溶射材は主に半導体、FPD製造装置に使用されるため高い純度が要求されます。
これに応えるためフジミでは厳密な品質管理のもと高純度イットリア溶射材を製造しています。
イットリア粉末を用いた溶射皮膜（コーティング）はアルミナ粉末を用いた溶射皮膜よりも優れた耐プラズマエロ―ジョン性を有しています。
【用途例】
高純度イットリアではその化学的安定性、耐プラズマエロ―ジョン特性を活かし、半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置などに使用されています。
アプリケーション例
・プラズマエッチング装置 ・CVD装置 ・静電チャック ・焼成トレイ など
【メッセージ】
フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。
セラミックス溶射材料に関してご質問やご要望等ございましたらお気軽にご連絡ください。
※製品の詳細はカタログをご覧ください
基本情報
※詳しくはカタログをご覧ください
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途例】 高純度イットリアではその化学的安定性、耐プラズマエロ―ジョン特性を活かし、 半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置などに使用されています。 アプリケーション例 ・プラズマエッチング装置 ・CVD装置 ・静電チャック ・焼成トレイ など |
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社フジミインコーポレーテッド
