最終更新日:
2023-06-09 09:29:37.0
真空紫外線を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解!ppbオーダーのTOCを低減
半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、超純水中の有機物
(TOC) 濃度に対する要求値も厳しくなっています。
『FOVシリーズ』は高出力低圧水銀ランプから発生する真空紫外線 (185nm)
を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解。ppbオーダーのTOCを低減
させるのに適しています。
また、縦型設計ですので設置スペースが限られた場所でもご使用いただけます。
【仕様(一部)】
■入力電圧:AC100V-AC200V(50/60Hz)から選択可能
■警報出力:ランプ切無電圧接点標準装備
■制御盤材質:SS
■制御盤塗料色:マンセル 2.5Y 9/1
■シリンダ材質:SUS316
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の仕様(一部)】
■シリンダ内面仕上:#400バフ研磨、電解研磨
■シリンダ外面仕上:電解研磨
■最大使用圧力:1.0MPa
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【用途】 ■半導体産業 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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