最終更新日:
2023-09-26 10:01:05.0
研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案
スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。
・調整と混合
・供給と輸送
・除去と回収
GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。
接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。
基本情報
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【実績例】 ・シリコンインゴットからウェハーへのスライシング ・化学機械研磨(CMP) ・ウェハー素子形成(素子間分離層/トランジスタ) |
ラインナップ
型番 | 概要 |
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GEMÜ C60 | PFA/PPダイアフラムバルブ |
GEMÜ C67 | PFA/PPダイアフラムバルブ |
詳細情報
C60シリーズ
PFA/PP製ダイアフラムバルブ。
流路での乱流を抑え,高い安定性と流量を誇ります。
PFA/PP製ダイアフラムバルブ。
流路での乱流を抑え,高い安定性と流量を誇ります。
バルブマニフォールド
個別のアプリケーションに合わせて,自由にレイアウトや設計ができます。
配管の省スペース化や,接続箇所の低減で漏れのリスクを減らします。
個別のアプリケーションに合わせて,自由にレイアウトや設計ができます。
配管の省スペース化や,接続箇所の低減で漏れのリスクを減らします。
HydraLineシリーズ
PFA製のハイピュリティー圧力計。
スラリーでも安定した測定が可能です。
PFA製のハイピュリティー圧力計。
スラリーでも安定した測定が可能です。
関連カタログ
お問い合わせ
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ゲミュージャパン株式会社