ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『 スラリーの供給』

最終更新日: 2023-09-26 10:01:05.0
研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案

スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。
・調整と混合
・供給と輸送
・除去と回収

GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。

接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。

基本情報

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【実績例】
・シリコンインゴットからウェハーへのスライシング
・化学機械研磨(CMP)
・ウェハー素子形成(素子間分離層/トランジスタ)

ラインナップ

型番 概要
GEMÜ C60 PFA/PPダイアフラムバルブ
GEMÜ C67 PFA/PPダイアフラムバルブ

詳細情報

C67_008_D_77_30_SA_0_2_HPW.jpg
C60シリーズ
PFA/PP製ダイアフラムバルブ。
流路での乱流を抑え,高い安定性と流量を誇ります。
Manifold_kompl_geschraubt_1.jpg
バルブマニフォールド
個別のアプリケーションに合わせて,自由にレイアウトや設計ができます。
配管の省スペース化や,接続箇所の低減で漏れのリスクを減らします。
C30_HydraGauge.jpg
HydraLineシリーズ
PFA製のハイピュリティー圧力計。
スラリーでも安定した測定が可能です。

お問い合わせ

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