最終更新日:
2023-09-26 09:59:25.0
腐食性ケミカルに最適なバルブをご提案
GEMÜのバルブ,計測器,制御システムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず,流体の純度を高いまま保持します。
GEMÜ社よりPFA製のダイアフラムバルブ,ブロックバルブ,圧力計,超音波流量計が提案できます。
基本情報
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途/実績例 | 【用途/実績例】 ・ウェハーの洗浄 ・ウェハーのエッチング工程 ・ウェハーのコーティング工程 |
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ゲミュージャパン株式会社