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最終更新日:
2024-09-13 18:08:05.0
クリーンルーム対応！組み合わせでX-Yテーブルとしても使用可能な一軸テーブル
本製品は、クリーンルーム対応の完全非接触構造の一軸テーブルです。
エアーベアリングステージの素材にグラナイトを用いシャフトモーターに
よって駆動します。
組み合わせでX-Yテーブルとして使うことも可能です。
【特長】
■驚異の低速度むら
■オーバーシュートのない高速の立ち上がり
■完全非接触
■経年変化が全くない
■シャフトモーター駆動
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■ピコメーターシリーズ
■ナノシリーズ
■10ナノシリーズ
〔XYステージ〕
■ピコメーターシリーズ
■ナノシリーズ
■10ナノシリーズ
■大型でぃすぷれいパネル用テーブル
・液晶用
・PDP用
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株式会社ジイエムシーヒルストン
