株式会社ジイエムシーヒルストン

高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

最終更新日: 2024-11-03 23:00:13.0
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ

※2024.12.11~13 SEMICON Japan 3Hall #3121ブースで出展・当製品を出展します!

シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。
このXYステージは…
♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用(2台のモーターを1台のアンプと1式のエンコーダーで駆動)
♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現
♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ
♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します

基本情報

高精度ステップ送り
速度リップルのない等速性に優れた動作
俊敏なセトリングタイム(高速整定)
など、シャフトモーターの特長をパラレル駆動においても実現したステージです

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 半導体製造装置・検査装置・修正装置など…

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