【仕様(抜粋)】
■ウェハー供給部:BOLTS互換のロードポート搭載し、様々なSEMI規格のウェハーポッドに適用
■ロボット:信頼性の高い4軸、サーボ駆動
■エンドエフェクタ:標準吸引式エンドエフェクタ
■位置決め:回転軸およびリニア軸によるアライメントステーション
■X線検出器:シリコンドリフト検出器(SDD)
■X線管球:マイクロフォーカスチューブ
■プライマリフィルター:4種類
■X線集光:ポリキャピラリ―
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ウェハー供給部:BOLTS互換のロードポート搭載し、様々なSEMI規格のウェハーポッドに適用
■ロボット:信頼性の高い4軸、サーボ駆動
■エンドエフェクタ:標準吸引式エンドエフェクタ
■位置決め:回転軸およびリニア軸によるアライメントステーション
■X線検出器:シリコンドリフト検出器(SDD)
■X線管球:マイクロフォーカスチューブ
■プライマリフィルター:4種類
■X線集光:ポリキャピラリ―
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。