上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体製造装置向け、高周波ロータリコネクタ！
近年半導体製造工程で使われるCVD装置などで使用する目的で高周波、大電流スリップリングの要求が増えています。
弊社では複数の大手メーカへの納入実績があり、ユーザーニーズに合わせた設計、製作が可能です。
【特長】
■13.56MHzの高周波を安定して回転接続できます。
■RoHS対応品で接触抵抗が低く、低ノイズ、低回転トルク、長寿命
■高温、真空環境にも対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
弊社では複数の大手メーカへの納入実績があり、ユーザーニーズに合わせた設計、製作が可能です。
【特長】
■13.56MHzの高周波を安定して回転接続できます。
■RoHS対応品で接触抵抗が低く、低ノイズ、低回転トルク、長寿命
■高温、真空環境にも対応可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連情報
【事例】高周波電流ロータリーコネクタ（Type3）
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【仕様】
■極数：1
■許容電流：25A
■周波数：13.56MHz
■接触抵抗：10mΩ以下
■回転方向：CW-CCW 両方向
■許容回転数：500rpm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
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株式会社ヒサワ技研
